技能者の技術を自動化し
品質を標準化する。
先進的な試料作製システム
手研磨の感覚で使える自動機。
技能者の技術を数値化することで、誰でも簡単に高品質な研磨が可能。
これからの分析現場や技術継承に最適なソリューションです。
試料作製システム
ISPP-1000は、これまでの研磨の課題を解決する革新的な試料研磨機です。
技能者の技術を自動化し、技術を数値化することで高品質な研磨を共有でき、分析現場や技術継承にも最適なソリューションを提供します。
手研磨の感覚で操作できる
手研磨の感覚で荷重・削り量、回転数・移動速度・パターンなど、技能者の技術を細かく条件設定して再現します。
これにより、多彩な条件の組み合わせから最適な研磨方法を見つけ出し、さまざまな課題を効率的に解決するための条件を導き出すことが可能です。
2µm単位の補正で削り過ぎを防げる
微細な特定部位の露出を行う際に最小2μmの設定が可能です。
あともう少しが2μm単位で設定が行えます。
0.01°で試料の傾きを補正する
拡大観察時の斜め研磨の傾きを0.01°単位で角度補正が行えます。画像は1軸傾斜ユニット（オプション）を使ってBGAのバンプやパッケージ内部のワイヤボンディングの配列が全幅にわたって均一に露出させることができます。
他にも2軸傾斜ホルダ（オプション）を使って平面の修正やディレイヤリングにも使われています。
研磨ではできなかった組織の観察ができる
軟らかい金属のEBSD（金、銅、アルミのボンディング、銅箔）や、割れやすい、欠けやすい試料（CFRP、GFRP、シリコン）、高分子（ゴム・インク）…といった今まで難しかった試料も作製できます。
包埋しないので直ぐに試料作製できる
試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。
試料を直接つかむため研磨面積を最小限にすることができ、低い荷重の研磨が実現します。
外さずに観察できる顕微鏡を標準装備
パネル操作によってスイングアームが顕微鏡の対物レンズの上に移動し、試料を装置から取り外すことなく観察できるので再現性が高く、確認後すぐに作業を再開できます。
イオンミリング
イオンミリングの前処理の直角出しが簡単です。
- イオンミリングは熱が出るので使えない
- イオンミリングは加工範囲を広げると時間がかかる
といった課題を解決します。
技能者の技術を細かく条件設定して再現する
- 研磨条件が豊富
- 研磨条件を残せるので再現性が高い
- 共有しやすい
- 一度行った研磨のリピートが容易に行える
- 失敗しないための機能がある
新たに研磨の環境を構築するのに最適
- 小型省スペースでありながら多機能。
- わかりやすい、覚えやすい。
- 研磨条件を残せるので再現性が高い。
- 別の人の行った条件を共有できる。
- 一度行った研磨のリピートが容易に行える。
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